特許
J-GLOBAL ID：200903023585471327

基板搬送用発泡ボックス

発明者：
吉田 俊雄

吉田 俊雄 について

, 
福本 広伸

福本 広伸 について


出願人/特許権者：
淀川ヒューテック株式会社

淀川ヒューテック株式会社 について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-173096
公開番号（公開出願番号）：特開2005-008194
出願日： 2003年06月18日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】発塵のさらなる抑制を可能とする構造を有するガラス基板搬送用ボックスを提供する。【解決手段】側部支持溝212においては、内壁211(または内挿クッション部材)に形成される凹凸からなる溝212aと、この溝212aの表面を覆う保護フィルム212bとを有している。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
内部に基板を収容するための発泡体製の基板搬送用発泡ボックスであって、 上部が開口し、前記基板を収容し、相対向する内壁に前記基板を支持するための側部支持溝(212)を有する発泡ボックス本体(210)と、 前記発泡ボックス本体(210)の上部開口を閉じる発泡蓋部材(220)とを備え、 少なくとも前記側部支持溝(212)の表面は、保護フィルム(212b)で覆われていることを特徴とする、基板搬送用発泡ボックス。
IPC (1件)：
B65D85/86
FI (1件)：
B65D85/38 R
Fターム (40件)：
3E096AA06 ,  3E096AA13 ,  3E096BA20 ,  3E096BB03 ,  3E096BB05 ,  3E096CA02 ,  3E096CA03 ,  3E096CA09 ,  3E096CB03 ,  3E096DA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DA05 ,  3E096DA09 ,  3E096DA10 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB01 ,  3E096DB07 ,  3E096DB08 ,  3E096DC02 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096EA03X ,  3E096EA03Y ,  3E096EA20Y ,  3E096FA03 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096FA16 ,  3E096FA26 ,  3E096FA27 ,  3E096FA30 ,  3E096GA03 ,  3E096GA05 ,  3E096GA07 ,  3E096GA11 ,  3E096GA12 ,  3E096GA13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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