特許

J-GLOBAL ID：200903023585860528

蒸着用金属マスクおよび蒸着用金属マスク製造方法

発明者： 絹田 精鎮
出願人/特許権者： 株式会社オプトニクス精密
代理人 (1件)： 福田 賢三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-068125
公開番号（公開出願番号）：特開2001-254169
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月18日
要約：

【要約】【課題】 微細な蒸着領域や非蒸着領域が内部にある蒸着領域を形成できる蒸着用金属マスクを提供する。【解決手段】 スリット状蒸着領域22を形成する第1マスクパターン12と、四角枠状蒸着領域23を形成する第2マスクパターン14を蒸着マスクフレーム11に開設し、第1マスクパターン12の微細な幅を跨ぐように微細リブ15を架設すると共に、第2マスクパターンの内部に位置する副フレーム13と蒸着マスクフレーム11とを微細リブ15で位置固定して、蒸着用金属マスク10を形成する。

請求項（抜粋）：

被蒸着物の蒸着面に密着させて被蒸着箇所をマスキングする蒸着用金属マスクであって、蒸着領域に対応するマスクパターンが開設された蒸着マスクフレームは、フレーム厚さに比して所定寸法を保持し難い微細な間隙を微細パターン部として含むマスクパターンを備え、上記マスクパターンの微細パターン部の反密着面側を跨ぐように微細リブを架設し、微細パターン部の間隙を所定寸法に保持するようにしたことを特徴とする蒸着用金属マスク。

IPC (2件)：

C23C 14/04 ,  C23C 16/04

FI (2件)：

C23C 14/04 A ,  C23C 16/04

Fターム (6件)：

4K029BB03 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K030BB14 ,  4K030DA05 ,  4K030LA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

• シャドーマスクおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-146749   出願人：東レ株式会社
• 特開平3-264685
  
• 拡散接合されたスパッタリングターゲット組立体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-351106   出願人：株式会社ジャパンエナジー
• 特開平3-264685