特許
J-GLOBAL ID：200903023640129153

加熱方法

発明者：
海野 豊

海野 豊 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-047178
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243243
出願日： 2004年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】基体内に加熱素子を埋設した加熱装置において、加熱素子への供給電力の調整によって、昇温時に基体に加わる熱応力を低減する。【解決手段】加熱装置1は、被加熱物Wを加熱する加熱面2aを有する基体2、電力供給時に発熱する第一の加熱素子3A、および電力供給時に発熱する第二の加熱素子3Bを備えている。加熱素子3Aと3Bとが基体2中に埋設され、積層されている。第一の加熱素子3Aに対して電力を供給したときに、加熱領域11の中央部2eの単位面積当たりの発熱量が加熱領域2aの周縁部2dの単位面積当たりの発熱量よりも大きい。第二の加熱素子3Bに対して電力を供給したときに、中央部2eの単位面積当たりの発熱量が周縁部2dの単位面積当たりの発熱量よりも小さい。目的温度への昇温時に加熱領域の中央部の温度が周縁部の温度よりも高くなるように、第一の加熱素子へと供給される電力と第二の加熱素子へと供給される電力とを制御する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
被加熱物を加熱する加熱面を有する基体、電力供給時に発熱する第一の加熱素子、および電力供給時に発熱する第二の加熱素子を備えており、前記第一の加熱素子と前記第二の加熱素子とが積層されており、前記第一の加熱素子に対して電力を供給したときに前記加熱面の加熱領域の中央部の単位面積当たりの発熱量が前記加熱領域の周縁部の単位面積当たりの発熱量よりも大きく、前記第二の加熱素子に対して電力を供給したときに前記中央部の単位面積当たりの発熱量が前記周縁部の単位面積当たりの発熱量よりも小さい加熱装置を使用して前記被加熱物を加熱するのに際して、 目的温度への昇温時に前記加熱領域の前記中央部の温度が前記周縁部の温度よりも高くなるように、前記第一の加熱素子へと供給される電力と前記第二の加熱素子へと供給される電力とを制御することを特徴とする、加熱方法。
IPC (7件)：
H05B3/00 ,  C23C16/46 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H05B3/18
FI (7件)：
H05B3/00 310B ,  C23C16/46 ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/205 ,  H05B3/18 ,  H01L21/302 101G ,  H01L21/30 567
Fターム (23件)：
3K058AA44 ,  3K058AA86 ,  3K058BA14 ,  3K058CA02 ,  3K058CB12 ,  3K058CE23 ,  3K092PP20 ,  3K092QB51 ,  3K092RF03 ,  3K092RF22 ,  3K092RF27 ,  3K092VV22 ,  3K092VV34 ,  4K030FA10 ,  4K030KA23 ,  5F004AA16 ,  5F004BB26 ,  5F004CA04 ,  5F004CA08 ,  5F045AA03 ,  5F045EK09 ,  5F045EK27 ,  5F046KA04
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-033445   出願人：日本碍子株式会社
審査官引用 (3件)
  • セラミックスヒータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-281115   出願人：日本碍子株式会社
  • 加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-033445   出願人：日本碍子株式会社
  • 加熱装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-318943   出願人：日本碍子株式会社

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