金属イオンプラズマ発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安田敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211412
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092919
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】金属製カソードとトリガーリングとの間のトリガー放電でカソードとアノード間に真空アーク放電を誘発し、カソード表面を蒸発させて金属イオンプラズマを発生させる場合に、カソードとアノード間に印加するアークパルス長さを1msecより長くすると、カソードとトリガーリング間が絶縁リング表面に堆積する蒸発物質によりすぐに短絡する。【解決手段】カソード34からの蒸発物質をアノード26側へ導く磁場をアノード26とカソード34間の空間に形成する永久磁石36をトリガーリング35の後方に近接させて設ける。これにより、アークパルス長さを長くしても長時間の連続運転を行うことができる。しかも、上記の位置に永久磁石36を設けることでアーク放電による熱負荷を受けず、安定した動作状態が維持されると共に、全体の構成がコンパクトになる。

請求項（抜粋）：

真空室内に、棒状の金属製カソードと、このカソードの先端側が挿通される絶縁リングと、この絶縁リングに外嵌されるトリガーリングと、カソードの先端面に対面する位置に開口を有するアノードとが設けられ、トリガーリングとカソード間のトリガー放電によって誘発されるカソードとアノード間の真空アーク放電により、カソード表面からプラズマ化した蒸発物質を発生させ、この蒸発物質を上記開口を通して供給する金属イオンプラズマ発生装置において、カソードからの蒸発物質をアノード側へ導く磁場をカソードとアノードとの間の空間に形成する磁場形成手段が、トリガーリング後方に近接させて設けられていることを特徴とする金属イオンプラズマ発生装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

イオンビームの発生装置及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-035717 出願人：新日本製鐵株式会社
特開平4-045262
特開平4-045262

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