板状物搬送用ロボット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-082506
公開番号（公開出願番号）：特開平9-272095
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】コストを低く抑えながらカセット内の板状物を確実に検出する。【解決手段】ガラス基板3を支持するハンド7におけるカセット2側の先端に、光軸がカセット2側を指向する受・発光素子からなる反射型光電センサ9を設けた。

請求項（抜粋）：

板状物をこの板状物の主面と平行な支持面を有するハンドに支持させて板状物収納用カセットに対して出し入れする板状物搬送用ロボットにおいて、前記ハンドにおける前記カセット側の先端に、光軸がカセット側を指向する受・発光素子からなる反射型光電センサを設けたことを特徴とする板状物搬送用ロボット。

IPC (4件)：

B25J 19/04 , B65G 1/00 535 , H01L 21/68 , H01L 31/12

FI (4件)：

B25J 19/04 , B65G 1/00 535 , H01L 21/68 A , H01L 31/12 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

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