特許
J-GLOBAL ID：200903023670430206

インクジェットヘッドの製造方法

発明者：
岡野 明彦

岡野 明彦 について

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芝 昭二

芝 昭二 について

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石倉 宏恵

石倉 宏恵 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190480
公開番号（公開出願番号）：特開2006-007675
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】目的とするインク流路を正確に形成可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】 流路パターンを規定する型となる溶解除去可能な固体層(流路となる構造)とそれを被覆するネガ型レジスト層とを少なくとも用いたインクジェットヘッドの製造において、流路となる構造を、特定の物性を有する(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリル酸エステルの共重合体を樹脂成分とするポジ型感光性樹脂組成物から形成する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
インク吐出口と該吐出口に連通するインク流路と、該吐出口からインク滴を吐出するためのエネルギー発生素子を、少なくとも含むインクジェットヘッドの製造方法であって、 (1)エネルギー発生素子を有する基板に、光崩壊性ポジ型レジスト層を形成する工程と、 (2)該光崩壊性ポジ型レジスト層からインク流路となる構造を、露光および現像過程からなるフォトリソ過程により形成する工程と、 (3)該インク流路となる構造上にネガ型レジスト層を被覆させる工程と、 (4)該ネガ型レジスト層に、該インク流路となる構造に達するインク吐出口を形成する工程と、 (5)インク流路となる構造を除去することで、該インク吐出口と連通するインク流路を形成する工程と、 を有し、 前記光崩壊性ポジ型レジストが、少なくとも(メタ)アクリル酸エステルから得られる単位を主成分とし、(メタ)アクリル酸から得られる単位を更に含むアクリル系共重合体組成物からなり、該アクリル系共重合体組成物には(メタ)アクリル酸単位が5〜30重量%の割合で含まれ、かつ該アクリル系共重合体の重量平均分子量が50000〜300000であることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16 ,  G03F 7/039
FI (2件)：
B41J3/04 103H ,  G03F7/039 501
Fターム (23件)：
2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG33 ,  2C057AP02 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP37 ,  2C057AP47 ,  2C057AP57 ,  2C057AP60 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ04 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB20 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BF01 ,  2H025FA16 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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