特許
J-GLOBAL ID:200903023671933724
ダイヤモンド様薄膜保護膜を有する物品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
倉内 基弘 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-311487
公開番号(公開出願番号):特開平5-124875
出願日: 1991年10月31日
公開日(公表日): 1993年05月21日
要約:
【要約】【目的】 ダイヤモンド様薄膜保護膜を強固に結合した物品を得ること。【構成】 ダイヤモンド様薄膜との親和性が悪い基体の表面に、けい素と炭素の非晶質混合物からなる中間層を設け、その上にダイヤモンド様薄膜を形成する。【効果】 ダイヤモンド様薄膜保護膜の物品への結合が強固になる。
請求項(抜粋):
Co、Ni、Feの少なくとも一種を含む合金、セラミックス及びガラスよりなる群より選択され且つダイヤモンド様薄膜との親和性が悪い基体の表面に、けい素と炭素の非晶質混合物からなる中間層と、ダイヤモンド様薄膜を順に形成した保護膜を有する物品。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開昭63-286576
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特開昭63-140083
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特開平3-146666
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特開昭56-065142
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薄膜形成装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-217601
出願人:株式会社島津製作所
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