特許
J-GLOBAL ID：200903023672665650
誘電体や絶縁体からなる浮上体の静電浮上装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218582
公開番号（公開出願番号）：特開平10-066367
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 誘電体や絶縁体からなる浮上体の静電浮上装置で、浮上体の浮上時間を短縮し、浮上剛性や浮上系の安定性を高め、しかも、浮上体の水平方向に作用する復元力やその剛性を向上させる。【解決手段】 主要点は、固定子10の電極形成方法にあり、即ち、絶縁基板上に複数の電極グループを形成し、その各々の電極グループは更に、交互に配置された複数の電極から構成される。また、浮上体20を安定浮上させる制御電圧を発生する制御器40を持つと共に、固定子/浮上体間のギャップを変位センサ31〜34で検出して、制御器にフィードバックして、制御器から作り出した制御電圧と、一定直流電圧とを上記の電極に交互に印加して、異なる電圧が印加される電極間の境界を多数形成させる。
請求項（抜粋）：
誘電体や絶縁体からなる浮上体を静電力を用いて浮上させる静電浮上装置において、(a)絶縁基板上に複数の電極グループが形成され、該各電極グループは交互に配置されている複数の電極から形成されている固定子と、(b)該固定子に対向する浮上体と、(c)前記固定子と前記浮上体とのギャップを検出する変位センサと、(d)前記浮上体を安定浮上させるための制御電圧を発生する制御器とを備え、(e)前記変位センサを用いて検出した前記浮上体の浮上位置に基づいて前記制御器から作り出した制御電圧と一定直流電圧とを前記各電極グループの電極に交互に印加することを特徴とする誘電体や絶縁体からなる浮上体の静電浮上装置。
引用特許：
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