特許
J-GLOBAL ID：200903023687546143
薄膜太陽電池の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-239867
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107227
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】CuInSe2 合金膜を有する薄膜太陽電池のSe使用量を低減し、コストダウンを図った製造装置を提供する。【構成】ベース1は排気管3、ガス導入管4を有する。ベース1の上にOリング7を介してベルジャ2を置く。下部加熱治具11の凹部12に薄膜太陽電池とSe粉末を入れ、ベース1の上に置く。下部加熱治具11の上に上部加熱治具21を被せる。下部加熱治具11と上部加熱治具21を遮熱板19,29で囲む。上部加熱治具21は、支持具32、支持板33、ねじ軸34、支柱40a,40b、支持板41,42、プーリ36,43、べルト44、回転軸45、ベベルギア46,47、回転軸48、ハンドル49からなる上下動機構で上下動する。上下の加熱治具をヒータで加熱し、Seと薄膜太陽電池を反応させ、CuInSe2合金膜を形成する。
請求項（抜粋）：
真空排気管とガス導入管とを有するベースと、このベースの上にOリングを介して設置されるベルジャと、真空排気管とガス導入管とにそれぞれ設けられている弁とを有する真空系と、前記ベルジャ内の前記ベースの上に設置され、上部に処理すべき薄膜太陽電池を収納する凹部を有し、下部にヒータと温度センサとを有する下部加熱治具と、この下部加熱治具の上から擦り合わせ気密封止で蓋をし、上部にヒータと温度センサとを有する上部加熱治具と、前記上部加熱治具を外部からの操作で上下動させる機構とを備えたことを特徴とする薄膜太陽電池の製造装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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