研磨パッドのドレッシング装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047848
公開番号（公開出願番号）：特開平10-244458
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】研磨パッドを損傷したり汚染したりすることなくドレッシングすることができる研磨パッドのドレッシング装置を提供する。【解決手段】ブラシ14によって研磨パッド50の表面を擦るとともに、研磨パッド50のブラシ14に接触する場所に向けて、ノズル20から高圧で洗浄液を噴射する。したがって、掻き出した研磨屑を直ちに洗い流すことができる。また、高圧の洗浄液で洗い流すので、ブラシ14で研磨パッド50を強く擦る必要はない。さらに、研磨パッド50に衝突させる洗浄液の霧粒の大きさ及び衝突速度を最適化して、研磨パッド50の深層まで充分に洗浄液を到達させるようにしたので、ブラシ14が研磨パッド50を叩いて研磨パッド50を押し洗いする効果を生じさせることができる。したがって、研磨パッド50の深層に蓄積した研磨屑を、研磨パッド50の表層に浮き上がらせ、除去することができる。

請求項（抜粋）：

研磨装置の研磨パッドをブラシで擦ることによってドレッシングする研磨パッドのドレッシング装置において、前記研磨パッドの前記ブラシが接触する場所に向けて洗浄液を噴射するノズルを設けたことを特徴とする研磨パッドのドレッシング装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

ウェハ研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-075719 出願人：日本電気株式会社
研磨布の表面処理方法および研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-045826 出願人：日本電気株式会社
スクラブ洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-074979 出願人：ソニー株式会社

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