特許

J-GLOBAL ID：200903023776254610

光学薄膜及びその包装方法

発明者： チン-ボア・ウォン
出願人/特許権者： マイクロ・リソグラフィー・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016622
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133360
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 薄膜自体が包装システムの何れの部分とも接触せず、薄膜の包装、輸送及び開梱中における薄膜の損傷を防止すること。【解決手段】 光学薄膜110は、薄膜メンブラン112と、薄膜フレーム114とを備え、薄膜フレームは、カバー側部118と、メンブラン側部120と、外縁部122とを備える。薄膜メンブランは、薄膜フレームのメンブラン側部に取り付けられ且つメンブラン側部の相当な部分を覆う。薄膜フレームのメンブラン側部は、薄膜メンブランを超えて伸長する周縁領域124を有する。周縁領域は、薄膜フレームのメンブラン側部の周縁に切欠き部分126を備える。包装体130は、第一の部片132と、第二の部片134とを備える。第一の部片は光学薄膜を支持する構造体を備える。この構造体は、薄膜メンブランが包装体の第一の部片と接触しないように光学薄膜を支持する。包装体の第二の部片は、第一の部片と係合して、光学薄膜を包装体内に包み込む。包装体内に包み込んだとき、薄膜メンブランは包装体の第一及び第二の部片とは接触しない。

請求項（抜粋）：

光学薄膜にして、薄膜メンブランと、底部のカバー側部と、頂部のメンブラン側部と、該メンブラン側部から前記カバー側部まで下方に伸長する外縁部とを有する薄膜フレームとを備え、前記薄膜メンブランが、前記薄膜フレームの前記メンブラン側部の上に取り付けられ且つ該メンブラン側部の相当の部分を覆い、前記メンブラン側部が、前記薄膜メンブランを超えて前記カバー側部に向けて略下方に伸長する周縁領域を備えることを特徴とする光学薄膜。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B65D 85/86

FI (5件)：

G03F 1/14 J ,  G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 E ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ペリクル枠
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-173687   出願人：東ソー株式会社
• 特開昭63-305359
  
• 特開昭63-305359