特許

J-GLOBAL ID：200903023813113754

酸化チタンをベースとする安定化した蒸着材料

発明者： カール-フリードリヒ クレヘ
出願人/特許権者： メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフトング
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045916
公開番号（公開出願番号）：特開平9-241830
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 従来の酸化チタンをベースとする焼結蒸着材料は脆くて砕け易く、その取扱い、焼結、蒸着過程で比較的多量の微細部分を生成して大きな問題となっていた。本発明は、安定化用添加剤を加えることによって焼結蒸着材料の構造を改善し、問題を解決する。【解決手段】 本発明の酸化チタンをベースとする安定化した焼結蒸着材料は、酸化チタンがTiOx(x=1.4〜1.8)の組成を有し、該材料が安定化添加剤として酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム及び酸化イッテルビウムからなる群からの酸化物を0.1〜10重量%含む。

請求項（抜粋）：

組成がTiOx(x=1.4〜1.8)である酸化チタンをベースとする安定化した焼結蒸着材料であって、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化イットリウム及び酸化イッテルビウムからなる群からの酸化物を0.1〜10重量%含むことを特徴とする蒸着材料。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  C01G 23/04 ,  C03C 17/245

FI (3件)：

C23C 14/24 E ,  C01G 23/04 C ,  C03C 17/245 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-197867
  
• 蒸着材料及び該蒸着材料を用いた光学薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-066041   出願人：キヤノン株式会社, 株式会社オプトロン