特許
J-GLOBAL ID:200903023858452444
耐熱性樹脂前駆体組成物、耐熱性樹脂の製造方法及び耐熱性樹脂
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-069882
公開番号(公開出願番号):特開2000-265057
出願日: 1999年03月16日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】半導体用途に優れた熱特性、電気特性を有する耐熱性樹脂を提供する。【解決手段】加熱による反応により耐熱性樹脂を生成する耐熱性樹脂前駆体(A)と、沸点が前記耐熱性樹脂前駆体が反応して耐熱性樹脂を生成する温度より高くかつ前記の耐熱性樹脂のガラス転移温度より低い溶剤(B)とを必須成分とする耐熱性樹脂前駆体組成物、これを用いた耐熱性樹脂と製造方法。
請求項(抜粋):
加熱による反応により耐熱性樹脂を生成する耐熱性樹脂前駆体(A)と、沸点が前記耐熱性樹脂前駆体が反応して耐熱性樹脂を生成する温度より高くかつ前記の耐熱性樹脂のガラス転移温度より低い溶剤(B)とを必須成分とする耐熱性樹脂前駆体組成物。
IPC (5件):
C08L 79/08
, C08G 73/10
, C08G 73/22
, C08L 79/04
, H01L 21/312
FI (5件):
C08L 79/08 A
, C08G 73/10
, C08G 73/22
, C08L 79/04 B
, H01L 21/312 A
Fターム (27件):
4J002CM011
, 4J002CM041
, 4J002ED036
, 4J002ED056
, 4J002FD026
, 4J002GQ05
, 4J043PA02
, 4J043PA19
, 4J043QB23
, 4J043QB31
, 4J043RA34
, 4J043RA52
, 4J043TA47
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UB022
, 4J043UB052
, 4J043UB121
, 4J043UB401
, 4J043ZB50
, 5F058AA10
, 5F058AC02
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AG01
, 5F058AH02
引用特許:
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