ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216991
公開番号（公開出願番号）：特開平6-067418
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】ポジ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 (1)アルカリ可溶性ノボラック樹脂および(2)特定の分子量および分子量分布を有するノボラック樹脂とキノンジアジドスルホン酸の縮合物、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。【効果】高感度および高解像度を有し、耐熱性、現像性、残膜率、パターン形状などに優れ、特に十分な寸法忠実度並びにフォーカス許容性に優れたポジ型レジストとして好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

(1)アルカリ可溶性ノボラック樹脂および(2)下記式(1)【化1】で表わされる繰返し単位を有し、GPCによる標準ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)が4,000以下であり、Mw対数平均分子量(Mn)の比(Mw/Mn)が2.5以下であり、そして1核体と2核体成分の全溶出成分に対する面積比が15%未満であるフェノール樹脂とキノンジアジドスルホン酸との縮合物に相当する、水酸基に対するキノンジアジドスルホニル基の平均縮合率が75%以下であるキノンジアジド化合物、を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-127238
特開昭61-205933
特表平3-502010

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