特許
J-GLOBAL ID:200903023876065296
導波路型受光素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高田 守
, 高橋 英樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-281450
公開番号(公開出願番号):特開2005-051039
出願日: 2003年07月29日
公開日(公表日): 2005年02月24日
要約:
【課題】 多波長帯信号光それぞれに対して、高い受光感度を保ったまま高速動作を可能にする導波路型受光素子を構成する。【解決手段】 1.3μm帯及び1.55μm帯の信号光に対して、n-クラッド層28およびp-クラッド層36の材料の組成波長を0.92μmとし、n-光ガイド層30およびp-光ガイド層34の材料の組成波長λgを1.2μmとするとともに、両光ガイド層30,34の厚みの変化に対する1.3μm波長光の感度曲線の勾配が正から負に変わる極値に対応した両光ガイド層の厚みをd1,および1.55μm波長光の感度曲線の勾配が正から負に変わる極値に対応した両光ガイド層の厚みをd2としたときに、受光素子の両光ガイド層の厚みdgが、0.75d1≦dg≦1.25d2を満足するように構成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
半絶縁性の半導体基板と、
この半導体基板上に配設され、この半導体基板側から第1の電極に接続された第1導電型の第1クラッド層、第1導電型の第1光ガイド層、光吸収層、第2導電型の第2光ガイド層、および第2の電極に接続された第2導電型の第2クラッド層が順次積層された光導波路層と、を備えるとともに、
最も短い信号光波長帯である第1の信号光波長帯の中心波長をλ1、第2の信号光波長帯の中心波長をλ2(λ2>λ1)、上記第1,第2クラッド層の材料の組成波長をλaとしたときに、
上記第1,第2光ガイド層が上記第1の信号光に対して透明になるように、第1,第2光ガイド層の材料の組成波長λgが、λa<λg<λ1を満足するとともに、
第1,第2の光ガイド層の厚みの変化に対する上記λ1の感度曲線の勾配が正から負に変わる極値に対応した第1、第2の光ガイド層の厚みをd1、
第1,第2の光ガイド層の厚みの変化に対する上記λ2の感度曲線の勾配が正から負に変わる極値に対応した第1,第2の光ガイド層の厚みをd2としたときに、
第1、第2の光ガイド層の厚みdgが
0.75d1≦dg≦1.25d2
を満足することを特徴とした多波長帯信号光兼用の導波路型受光素子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
5F049MA02
, 5F049MA07
, 5F049MB07
, 5F049NA11
, 5F049NB01
, 5F049PA04
, 5F049PA14
, 5F049QA08
, 5F049SS04
, 5F049WA01
, 5F049WA09
引用特許:
審査官引用 (3件)
-
導波路型半導体受光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-112219
出願人:古河電気工業株式会社
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光デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-038621
出願人:タツタ電線株式会社
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半導体受光素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-358691
出願人:日本電気株式会社
引用文献:
審査官引用 (1件)
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第50回応用物理学会関係連合講演会 講演予稿集(2003.3),p.1247
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