特許
J-GLOBAL ID：200903023887730763
インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008075
公開番号（公開出願番号）：特開平9-286104
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：
【要約】【課題】 従来の上電極と圧電体薄膜は、インク圧力室上の上電極の共通電極表面に対向した投影面積が圧電体薄膜上面の略平面の面積と同一でないため、圧電体薄膜の特性を充分引き出せない。【解決手段】 インク圧力室上の上電極の共通電極表面に対向した投影面積が圧電体薄膜上面の略平面の面積と同一になるように加工すること、つまり上電極と圧電体薄膜を一括でエッチングする。
請求項（抜粋）：
インクを噴射するノズルと、このノズルと連通するインク溜まりと、このインク溜まり内のインクを加圧する振動板と、この振動板上に圧電体薄膜と、この圧電体薄膜に対する電極と、を備え、前記圧電体薄膜と前記電極とが同一形状にパターニングされているインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
