特許
J-GLOBAL ID:200903023917646843

パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-187877
公開番号(公開出願番号):特開平9-103633
出願日: 1996年07月17日
公開日(公表日): 1997年04月22日
要約:
【要約】【課題】ガス混合物から少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法および装置を提供する。【解決手段】少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも1種のキャリヤーガスを包含し、所定の圧力にあるガス混合物を提供し、供給サイドおよび透過物サイドを有するガラス状ポリマー膜を提供し、該膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、該膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある非透過物流として、実質的に該少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、該膜の透過物サイドから、透過物流として、該少なくとも1種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す。
請求項(抜粋):
a)少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスおよび少なくとも1種のキャリヤーガスを包含し、第1の圧力および第1の温度にあるガス混合物を提供し、b)供給サイドおよび透過物サイドを有する第1のガラス状ポリマー膜を提供し、c)該第1の膜の供給サイドを該ガス混合物と接触させ、d)該第1の膜の供給サイドから、該所定の圧力と実質的に等しい圧力にある第1の非透過物流として、実質的に該少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスを包含する濃縮ガスを取り出し、e)該第1の膜の透過物サイドから、第1の透過物流として、該少なくとも1種のキャリヤーガスから実質的になる欠乏ガス混合物を取り出す各工程を備えたことを特徴とする、ガス混合物から少なくとも1種のパーフルオロ化合物ガスを回収する方法。
IPC (12件):
B01D 53/22 ,  B01D 53/00 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/32 ,  B01D 53/68 ,  B01D 63/02 ,  B01D 71/48 ,  B01D 71/50 ,  B01D 71/56 ,  B01D 71/62 ,  B01D 71/64 ,  B01D 71/68
FI (12件):
B01D 53/22 ,  B01D 53/00 ,  B01D 53/02 Z ,  B01D 53/32 ,  B01D 63/02 ,  B01D 71/48 ,  B01D 71/50 ,  B01D 71/56 ,  B01D 71/62 ,  B01D 71/64 ,  B01D 71/68 ,  B01D 53/34 134 C
引用特許:
審査官引用 (4件)
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