ガルバノミラーおよびこれを用いた光ディスク装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305783
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146035
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘッドの高速シークが阻害されてしまっていた。【解決手段】本発明のガルバノミラー9 は第1のプレート21,第2のプレート22の2つのプレートが積層された構造をなしている。第1のプレート21には固定部24、揺動部25、および2枚の弾性部26a,26b からなり、シリコンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体生計されている。また第2のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料で形成され、第1のプレート21の固定部24に対して静電接合等の手段で接合されている。さらに本発明では、弾性部26a,26b の断面形状として、揺動部25に形成された反射ミラー面と平行な方向の長さに対して、反射ミラー面と直交する方向の長さが長く形成されていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

反射ミラーを備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する複数の支持部材と、前記支持部材の他端が接続される固定部と、前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有するガルバノミラーにおいて、前記支持部材は、前記揺動体の前記反射ミラー面と平行な方向の長さに対して、前記反射ミラー面と直交する方向の長さを長く形成した部位を有することを特徴とするガルバノミラー。

IPC (2件)：

G02B 26/10 104 , G11B 7/09

FI (2件)：

G02B 26/10 104 Z , G11B 7/09 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

光学ヘツド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-297226 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-062014
静電力駆動光走査装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-218329 出願人：松下電器産業株式会社

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