試料表面のパラメータ差映像用方法と装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-504446
公開番号（公開出願番号）：特表2001-511519
出願日： 1998年07月28日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】差分映像技術は以下のステップで実行される:(i)試料(8)に均一な単色光(2)照明を照射し、CCDカメラ(15)で反射光の第1の画像を獲得し、(ii)試料(8)の物理的パラメータを均一かつ正確に変更し、(iii)ステップ(i)を繰り返し、物理パラメータの新しい値で影響を受けた第2の画像を獲得し、(iv)第1および第2の画像の差を求め、その差を、両画像の平均値で割り、正規化差分画像を生成する。物理的パラメータには、温度、電界、露光、磁界、機械的応力などがある。生成された画像は、任意の波長において、試料(8)表面の差分反射率によるものである。差分反射率は、平均反射率で割ったパラメータ変化による反射率の変化に等しい。

請求項（抜粋）：

試料表面のパラメータ差映像を実行する装置であって、A)前記試料表面を所定波長の単色光で照射する単色光源と、B)前記試料表面から反射した前記単色光を映像および測定する電子カメラと、C)前記電子カメラから少なくとも2個の画像を格納する手段と、D)前記画像の獲得と獲得の間に、前記試料表面の物理パラメータを変更する手段と、E)前記画像間の差を算出する演算手段とから成る装置。

IPC (3件)：

G01N 21/17 , G06T 7/00 , G01B 11/00

FI (3件)：

G01N 21/17 A , G01B 11/00 Z , G06F 15/62 400

Fターム (42件)：

2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065FF42 , 2F065GG22 , 2F065GG24 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL22 , 2F065LL46 , 2F065PP11 , 2F065QQ03 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ42 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059DD16 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG10 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059JJ02 , 2G059JJ22 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM09 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA19 , 5B057BA26 , 5B057DA01 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC32

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平3-129850
特許第4653109号
特開平2-243948

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