特許
J-GLOBAL ID:200903023951335997

焦点検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-067901
公開番号(公開出願番号):特開平10-268198
出願日: 1997年03月21日
公開日(公表日): 1998年10月09日
要約:
【要約】【課題】本発明は、迅速な合焦動作を実現できる焦点検出装置を提供する【解決手段】CCDカメラ26からの撮像画像をずれ方向検出部27に取り込み、所定のタイミングでサンプリングし、このサンプリングにより取得した各画像についてコントラストを求め、この求められたコントラストと前回求めたコントラストとを比較し、前回のサンプリング画像の方がコントラストが高い場合は、被検体6と合焦点Fの光軸上での間隔が相対的に増大していると判断して、Z軸変位制御部31により対物レンズ4の移動方向を反転させる。
請求項(抜粋):
プローブ光を光学系を通して被検体に照射し、被検体からの反射光を第1および第2の受光手段により受光し、これら第1および第2の受光手段の出力に基づいて被検体に対する焦点検出を行う焦点検出装置において、前記第1および第2の受光手段の出力に基づいて合焦動作範囲を判定する判定手段と、この判定手段での合焦動作範囲外の判定により前記被検体の撮像画像を取り込む撮像手段と、この撮像手段の撮像画像により前記被検体と合焦点の位置ずれ方向を検出する位置ずれ方向検出手段とを具備したことを特徴とする焦点検出装置。
IPC (3件):
G02B 21/00 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36
FI (3件):
G02B 21/00 ,  G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • フォーカシングサーボ機構
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-227109   出願人:株式会社ミツトヨ
  • 特開平3-110406
  • 撮像装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-081218   出願人:キヤノン株式会社
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