特許

J-GLOBAL ID：200903023953536248

トリクロロシラン製造装置

発明者： 石井 敏由記 ,  伊藤 秀男 ,  清水 祐司
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-259445
公開番号（公開出願番号）：特開2008-133168
出願日： 2007年10月03日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：

【課題】 トリクロロシラン製造装置において、装置全体を大型化しなくても、転換反応に要する長いガス流路が得られ、十分な保持時間と加熱とを得ること。【解決手段】 テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器1と、反応容器1を加熱する加熱機構2と、反応容器1内に供給ガスを供給するガス供給部3と、反応容器1から反応生成ガスを外部に排出するガス排気部4とを備え、反応容器1の内部には、ほぼ同心配置された内径の異なる複数の反応筒壁9a〜9dによって仕切られた複数の小空間8a〜8dを、これら反応筒壁9a〜dの下部と上部とに交互に形成した流通用貫通部10によって内側から順に連通状態としてなる反応流路20が形成され、該反応流路20にガス供給部3及びガス排気部4が接続されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器と、 前記反応容器の内部を加熱する加熱機構と、 前記反応容器内に前記供給ガスを供給するガス供給部と、 前記反応容器から前記反応生成ガスを外部に排出するガス排気部とを備え、 前記反応容器の内部には、ほぼ同心配置された内径の異なる複数の反応筒壁によって仕切られた複数の小空間を、これら反応筒壁の下部と上部とに交互に形成した流通用貫通部によって内側から順に連通状態としてなる反応流路が形成され、 該反応流路に前記ガス供給部及びガス排気部が接続されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。

IPC (1件)：

C01B 33/107

FI (1件)：

C01B33/107 Z

Fターム (6件)：

4G072AA14 ,  4G072GG04 ,  4G072HH08 ,  4G072JJ01 ,  4G072MM01 ,  4G072RR11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3781439号公報
  

審査官引用 (4件)

• カーボン製反応容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-314492   出願人：電気化学工業株式会社
• 特開昭62-123011
  
• 特開昭57-012826
  
• 特開昭62-021706