特許

J-GLOBAL ID：200903023955234516

X線異物検査方法及び装置

発明者： 内藤 修治 ,  石橋 彰
出願人/特許権者： 株式会社日鉄エレックス
代理人 (1件)： 中前 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-049545
公開番号（公開出願番号）：特開2004-257884
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】従来法の限界を打破し、被検査材中の微小な異物をSN比よく検査でき、しかも、被検査材を連続的に検査を行うことができるX線異物検査方法及び装置を提供する。【解決手段】被検査材を搬送装置11にて搬送中にX線を照射し、透過したX線をX線検出手段にて電気信号として検出し、この信号を処理して被検査材中の異物を検査するX線異物検査において、X線検出手段として、X線イメージインテンシファイヤー14と、X線イメージインテンシファイヤー14の画像を撮像する時間遅延積分型のCCD撮像素子25を使用するカメラ15とを用い、X線イメージインテンシファイヤー14の結像面23上を移動するX線透過画像に同期させて、CCD撮像素子25の電荷転送速度を制御し、鮮明でSN比の高い画像信号を得る。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査材を搬送装置にて搬送中にX線を照射し、透過したX線をX線検出手段にて電気信号として検出し、この信号を処理して前記被検査材中の異物を検査するX線異物検査方法において、 前記X線検出手段として、X線イメージインテンシファイヤーと、該X線イメージインテンシファイヤーの画像を撮像する時間遅延積分型のCCD撮像素子を使用するカメラとを用い、前記X線イメージインテンシファイヤーの結像面上を移動するX線透過画像に同期させて、前記CCD撮像素子の電荷転送速度を制御し、鮮明でSN比の高い画像信号を得ることを特徴とするX線異物検査方法。

IPC (1件)：

G01N23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (11件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001GA07 ,  2G001HA13 ,  2G001JA06 ,  2G001JA13 ,  2G001LA01 ,  2G001PA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• X線撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-234030   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• ラミノグラフィー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-238162   出願人：株式会社東芝