特許
J-GLOBAL ID：200903023970348528
音響マイクロセンサ装置を駆動する方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-579989
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529702
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：
【要約】音響マイクロセンサ装置、例えば測定媒体の物理的特性を検出するためのセンサ装置を駆動する方法および装置を提供する。電気音響トランスデューサ(6)を用いて音響的表面波を設定された波モードで形成し、これを検出し、その波の伝搬区間に沿った伝搬特性から測定媒体の物理的特性に対する尺度を求める。基板(5;22)の表面の測定媒体が存在する領域で、洗浄用トランスデューサ(20;24)により付加的に、サジタルに偏波した表面波が形成される。
請求項（抜粋）：
電気音響トランスデューサ(6)を用いてセンサベース素子内で音響表面波を所定の波モードで形成および検出し、 該波モードの伝搬区間に沿った伝搬特性から測定媒体の物理特性に対する尺度を求める、音響マイクロセンサ装置を駆動する方法において、 センサベース素子で測定媒体が存在する表面領域内にサジタルに偏波する表面波を形成する、ことを特徴とする音響マイクロセンサ装置を駆動する方法。
IPC (4件)：
G01N 29/02
, G01N 9/00
, G01N 11/16
, G01N 29/18
G01N 29/02
, G01N 9/00 E
, G01N 11/16 Z
, G01N 29/18
2G047AA01
, 2G047AD03
, 2G047BA01
, 2G047BC12
, 2G047BC14
, 2G047CA01
, 2G047CB03
, 2G047EA11
, 2G047EA20
, 2G047GB32
