特許
J-GLOBAL ID：200903051631964094
センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056258
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243618
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 容易に製造でき、表面弾性波デバイスが有する種々のパラメータを利用した検出精度の高いセンサを提供する。【解決手段】 IDT電極1(Al)と反射器2と圧電基板(水晶STカット板)とを備えた共振器形の表面弾性波フィルターのIDT電極1と反射器2を含めた表面全体をスピンコート法を用いてTiO2 でコーティングする(膜厚は約1μm)。この表面弾性波フィルターを、真空引き、ガス置換のできる容器にセットする。表面弾性波フィルターの入った容器を真空引きしておいてから容器内を試料を含んだ空気雰囲気にセットして、その後すぐに紫外線を照射したときの、表面弾性波フィルターの中心周波数と挿入損失とインピーダンス(レジスタンス+リアクタンス)の変化を測定する。測定結果から試料の化学種を同定する。さらに、インピーダンスの測定により、TiO2 のもつ光触媒反応のモニタリングする。
請求項（抜粋）：
すだれ状電極と反射器とを備えた共振器形表面弾性波デバイスの特性変化を測定して、上記共振器形表面弾性波デバイスの環境の検出対象を検出するセンサであって、上記共振器形表面弾性波デバイスの表面をTiO2 でコーティングしたことを特徴とするセンサ。
IPC (6件)：
G01N 29/20
, G01N 30/64
, G01R 23/07
, G01R 27/02
, H03H 3/08
, H03H 9/00
G01N 29/20
, G01N 30/64
, G01R 23/07
, G01R 27/02 A
, H03H 3/08
, H03H 9/00
審査官引用 (2件)
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特表昭64-500052
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特開昭52-106787
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