特許

J-GLOBAL ID：200903023976815918

針状ダイヤモンド配列構造体の作製方法

発明者： 藤嶋 昭 ,  益田 秀樹
出願人/特許権者： 東京大学長
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-164772
公開番号（公開出願番号）：特開2000-001392
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 従来公知の煩雑な工程を採用することなく、微細な針状構造が規則的に配列した針状ダイヤモンドの規則配列を大面積で、安価に作製する方法を提供する。【解決手段】 前記課題を達成するため、本発明の針状ダイヤモント配列構造体の作製方法は、ダイヤモンド基板上に貫通孔を有する陽極酸化アルミナをマスクとして載せ、真空蒸着法によりプラズマエッチングに対する耐性を有する物質を蒸着し、陽極酸化アルミナを除去したのち、ダイヤモンド基板に形成された蒸着ドットをマスクとしてプラズマエッチングを行ない、針状ダイヤモンドが規則的に配列した構造体を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド基板上に貫通孔を有する陽極酸化アルミナをマスクとして載せ、真空蒸着法によりプラズマエッチングに対する耐性を有する物質を蒸着し、陽極酸化ポーラスアルミナを除去したのち、ダイヤモンド基板に形成された蒸着ドットをマスクとしてプラズマエッチングを行ない、針状ダイヤモンドが規則的に配列した構造体を形成することを特徴とする針状ダイヤモンド配列構造体の作製方法。

Fターム (9件)：

4G077AA03 ,  4G077AB10 ,  4G077BA03 ,  4G077DB01 ,  4G077FB05 ,  4G077FB06 ,  4G077FG02 ,  4G077FG18 ,  4G077HA05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-034927
  
• 半導体微細構造の製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-350452   出願人：古河電気工業株式会社