特許

J-GLOBAL ID：200903023985371593

光学部材およびそれを搭載した投影露光装置

発明者： 石沢 均
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-166003
公開番号（公開出願番号）：特開2005-345812
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】 本発明の目的は、レンズやミラーなどの光学部材の表面に有機汚染物質が付着するのを防止するか、もしくは付着した有機汚染物質を光分解することにより、長期にわたって高い光学性能を維持することである。【解決手段】 本発明は、基板と、前記基板上に光触媒物質からなる厚さ5Å以上50Å以下の光触媒膜とからなり、前記光触媒膜が最表面に成膜されていることを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に光触媒物質からなる厚さ5Å以上50Å以下の光触媒膜とからなり、 前記光触媒膜が最表面に成膜されている光学部材。

IPC (6件)：

G02B1/10 ,  B01J27/138 ,  B01J35/02 ,  G02B1/11 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (7件)：

G02B1/10 Z ,  B01J27/138 M ,  B01J35/02 J ,  G03F7/20 521 ,  G02B1/10 A ,  H01L21/30 503G ,  H01L21/30 515D

Fターム (30件)：

2K009AA02 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD02 ,  2K009EE05 ,  4G069AA02 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA05A ,  4G069BA48A ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB08B ,  4G069BC10B ,  4G069BC15B ,  4G069BC35A ,  4G069BC50A ,  4G069BC50B ,  4G069BC51A ,  4G069BC52B ,  4G069BC55A ,  4G069BC56A ,  4G069CD10 ,  4G069EA08 ,  4G069EB15X ,  4G069EB15Y ,  5F046BA03 ,  5F046CA04 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 露光装置及びデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282995   出願人：キヤノン株式会社