露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282995
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111606
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】酸化チタン(TiO2)膜を部材の表面に設け、該表面への汚染物質の付着防止や堆積防止を図った露光装置及びそれを用いたデバイスの製造方法を得ること。【解決手段】光源から放射した光束で照明系を介して被照射面上のパターンを照明し、該パターンを投影光学系により基板面上に投影し露光する投影露光装置において、該投影露光装置を構成する一部の部材の表面に酸化チタン膜を設けていること。

請求項（抜粋）：

光源から放射した光束で照明系を介して被照射面上のパターンを照明する照明装置において、該照明系を構成する一部の部材の表面に酸化チタン膜を設けていることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , H01L 31/0264 , H01S 3/00

FI (5件)：

H01L 21/30 527 , G03F 7/20 521 , H01S 3/00 B , H01L 21/30 515 D , H01L 31/08 M

引用特許：

出願人引用 (4件)

紫外線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-195706 出願人：株式会社ニコン
光露光システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-266048 出願人：日本電信電話株式会社
浮動追従型光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027599 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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審査官引用 (2件)

紫外線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-195706 出願人：株式会社ニコン
光露光システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-266048 出願人：日本電信電話株式会社

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