圧電振動片および圧電デバイスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 須澤修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-364449
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173906
出願日： 2005年12月19日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：

【課題】小型もしくは超小型の圧電振動片を形成する場合であっても精密に電極膜を形成することができる圧電振動片およびこれを使用した圧電デバイスの製造方法を提供すること。【解決手段】エッチング異方性をもつ圧電基板45をウエットエッチングして圧電振動片の素子片を形成する外形形成工程と、該外形形成後に、必要な駆動用の電極を形成する電極形成工程とを含む圧電振動片の製造方法であって、前記電極形成工程においては、前記エッチング後に、エッチング異方性により異形となる箇所54-1,54-2,54-3を除いて、残り領域に前記駆動用の電極となる電極膜を成膜し、フォトリソグラフィの手法により前記駆動用の電極を形成する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

エッチング異方性をもつ圧電基板をウエットエッチングして圧電振動片の素子片を形成する外形形成工程と、該外形形成後に、必要な駆動用の電極を形成する電極形成工程とを含む圧電振動片の製造方法であって、前記電極形成工程においては、前記エッチング後に、エッチング異方性により異形となる箇所を除いて、残り領域に前記駆動用の電極となる電極膜を成膜し、フォトリソグラフィの手法により前記駆動用の電極を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (5件)：

H03H 3/02 , H03H 9/19 , H01L 41/22 , H01L 41/18 , H01L 41/09

FI (5件)：

H03H3/02 C , H03H9/19 A , H01L41/22 Z , H01L41/18 101A , H01L41/08 C

Fターム (22件)：

5J108BB02 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC08 , 5J108CC12 , 5J108DD02 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF11 , 5J108GG03 , 5J108GG07 , 5J108GG13 , 5J108GG15 , 5J108GG16 , 5J108GG17 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK07 , 5J108MM11 , 5J108MM15

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧電振動素子の電極構造及び製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-006915 出願人：東洋通信機株式会社

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