電気光学プローブ

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-308896
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142486
出願日： 1997年11月11日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】電圧ならびに電界を正確に測定することができる電気光学プローブを提供する。【解決手段】電界を測定する場合には、第1の端面から入射される測定レーザ光を透過させる電気光学素子38と第1の端面とは対向する第2の端面側に形成され測定レーザ光を反射させる反射板39とから構成され、与えられた電界の強度に応じて偏光状態が変化した反射光を出射する先端ブロック30bを用いる。また電圧を測定する場合には、第1の端面から入射される測定レーザ光を透過させる電気光学素子38と、第1の端面とは対向する第2の端面側に形成され測定レーザ光を反射させる反射板39と第2の端面側に設けられた尖頭形状の電極40とから構成され、電極40が形成する電界の強度に応じて偏光状態が変化した反射光を出射する先端ブロック30aを用いる。

請求項（抜粋）：

第1の端部から直線偏光の測定レーザ光が供給され、前記供給された測定レーザ光の光軸上において互いに同一である所定の偏光成分を屈折させるとともに当該偏光成分以外は透過させる第1および第2の偏光光分岐手段(13、16)と、前記第1の偏光光分岐手段と前記第2の偏光光分岐手段との間における前記光軸上に透過する光の偏光面を所定角度回転させる偏光回転手段(14)と、前記第2の偏光光分岐手段と前記偏光回転手段との間における前記光軸上に透過する光の互いに直交する成分間に1/2波長の位相差を与える第1の1/2波長板(15)と、前記第1の端部と対向し前記測定レーザ光が出射される第2の端部と前記第2の偏光光分岐手段との間における前記光軸上に透過する光の互いに直交する成分間に1/4波長の位相差を与える1/4波長板(17)と1/2波長の位相差を与える第2の1/2波長板(18)とを具備し、前記第2の端部側における前記光軸上に当該測定レーザ光を反射させて反射レーザ光を出射するとともに与えられる電界に応じて当該反射レーザ光の偏光状態を変化させる測定部(30a、30b)が着脱自在に取り付けられることを特徴とする電気光学プローブ。

IPC (5件)：

G01R 31/302 , G01R 15/24 , G01R 19/00 , G01R 29/12 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01R 31/28 L , G01R 19/00 V , G01R 29/12 F , H01L 21/66 C , G01R 15/07 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

電気信号測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-198360 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭63-305257
特開昭63-305257

前のページに戻る