特許
J-GLOBAL ID:200903065333412071

電気信号測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-198360
公開番号(公開出願番号):特開平8-262117
出願日: 1995年08月03日
公開日(公表日): 1996年10月11日
要約:
【要約】【課題】 信号線を伝播する測定すべき電気信号を低擾乱、高精度、広帯域、かつ比較的コンパクトで経済的に測定することができる電気信号測定装置を提供すること。【解決手段】 測定回路42上に形成された信号線43に導体1を一点で接触させ、該導体1から結合される電界の強度によって十分な厚みを持った電気光学材料2の複屈折率を変化させるとともに、該電気光学材料2にレーザ光源5からレーザ光を照射し、電気光学材料2の複屈折率変化によって偏光変化を受けたレーザ光を偏光検出器6で検出し、この検出した信号の波形を波形表示装置7で表示する。
請求項(抜粋):
測定対象の信号線を伝播する電気信号を測定する電気信号測定装置であって、前記測定対象の信号線に一点で接触させる導体と、前記導体から結合される電界の強度によって複屈折率が変化する電気光学材料であって、前記導体と接続された第一の面と、前記第一の面に対向する面であって電位が前記測定対象の信号線及びその他の信号線からの電界によって変化しない第二の面とを有する電気光学材料と、前記電気光学材料にレーザ光を照射するレーザ光源と、前記電気光学材料の複屈折率変化によって偏光変化を受けた前記レーザ光を検出する偏光検出手段とからなることを特徴とする電気信号測定装置。
IPC (6件):
G01R 31/302 ,  G01R 1/06 ,  G01R 15/24 ,  G01R 19/00 ,  G02F 1/03 ,  H01L 21/66
FI (6件):
G01R 31/28 L ,  G01R 1/06 F ,  G01R 19/00 V ,  G02F 1/03 ,  H01L 21/66 C ,  G01R 15/07 C
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (19件)
  • 特開平4-350568
  • 特開平4-350568
  • 特開平4-350568
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