特許
J-GLOBAL ID：200903024031516112

プローブカード

発明者：
山坂 力仁

山坂 力仁 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-100880
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253662
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 突起状接触子と被検査体の電極とを圧接させるのみの簡単な操作で、突起状接触子と電極との接触を十分確保して信頼性の高い特性検査ができ、かつ耐摩耗性の優れたメンブレン型プローブカードを提供する。【解決手段】 本プローブカードは表面に配線パターン12を有する合成樹脂製メンブレン11と、パターン端部にウエハの電極パッドの配列に合わせ形成された複数の突起状接触子13と、パターンの保護膜14を備えている。該接触子13は基端部から先端部へ次第に細くなり、その先端に平坦面13Aをもつ四角錐台状に形成され、基体部はパッドより高硬度材料からなり、その外面は金等の導電膜で被われる。ウエハを主チャック上に載置し位置合せ後上昇させると、ウエハは突起状接触子と接触後圧接が進むと、接触子は高硬度のため平坦面の縁からパッドに剪断力が働きパッドを押広げ食込み、食込部周面はパッドのAlと密着し良好な導通が確保される。
請求項（抜粋）：
膜部材と、この膜部材の表面に形成された突起状接触子とを備え、上記突起状接触子と被検査体の電極とが電気的に接触して上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブカードにおいて、上記突起状接触子は基端部から先端部に渡って徐々に細く形成されていると共にその先端に平坦面を有し、検査時に上記平坦面の外周で上記電極にせん断力を付与することを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
G01R 1/073 ,  H01L 21/66
FI (2件)：
G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B
引用特許：
審査官引用 (6件)
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