ビデオセンサ利用のレジストコーティング状況検査方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹本松司 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297835
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118781
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】ビデオセンサ利用のレジストコーティング状況検査方法及び装置の提供。【解決手段】一つのビデオセンサをレジストコーティングトラック機台に応用し、レジストコーティング時のコーティングプロセス検査を行い、ホトリソグラフィー工程とレジスト欠損検査の異なる工程で、スループットに影響を与えない前提の下で、有効に機台自体或いは前層の欠陥の因子により形成されるレジストコーティング不良の現象を即時検査し、検査時機を早めて大幅にレジストコーティングの問題の形成する重複作業率(Rework Rate)を大幅に低減するようにした。

請求項（抜粋）：

レジスト現像機中において、レジストのコーティングが異常であるか否かの検査動作を実行して、レジストベークの後になってからレジストコーティング検査を行うことによる工程の浪費を防止するビデオセンサ利用のレジストコーティング状況検査方法において、該方法は以下のaからnのステップ、即ち、a.フロー開始b.HMDSプライミングc.レジストコーティングd.ビデオセンサによるレジストコーティング検査e.コーティングに異常現象があれば、ユーザー確認に進入し、さらに一回の確認を進行し、確認後にコーティングに問題ありと認定されれば問題解決に進入し、問題解決されれば次のプレベークステップを進行し、もし問題解決不能であれば、フロー停止し改修作業に進入し、一方、使用者確認後にコーティングに異常がなければアラーム信号解除し、プレベークステップを直接実行するf.コーティングに異常現象がなければ、直接プレベークステップを実行するg.プレベーク後に露光実行h.ポストベークで熱処理実行i.現像実行j.ハードベーク実行k.臨界層であれば臨界寸法測定とオーバレイ測定実行l.非臨界層であれば直接オーバレイ或いは臨界寸法測定実行m.現像後検視の動作n.検視後もし正常であれば次の処理プロセスを実行し、異常現象があれば改修作業を実行する、上述のステップを具え、レジストコーティング後のプレベーク前に、レジストコーティングの異常現象の検査を行うことにより大幅にレジストコーティングの異常により形成される改修率を減少することを特徴とする、ビデオセンサ利用のレジストコーティング状況検査方法。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , H01L 21/66 , G03F 7/26 501 , G03F 7/30 501

FI (4件)：

H01L 21/66 J , G03F 7/26 501 , G03F 7/30 501 , H01L 21/30 564 C

Fターム (19件)：

2H096AA25 , 2H096CA14 , 2H096LA17 , 4M106AA01 , 4M106BA20 , 4M106CA27 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB19 , 4M106DB30 , 4M106DJ18 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23 , 4M106DJ27 , 4M106DJ38 , 5F046AA18 , 5F046DB14 , 5F046JA21 , 5F046JA22

引用特許：

審査官引用 (4件)

フォトレジストおよびレジストの検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-006918 出願人：シャープ株式会社
特開平3-230516
特開平2-233176

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