特許
J-GLOBAL ID:200903024047394602
流量制御弁
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
千葉 剛宏 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-326125
公開番号(公開出願番号):特開2001-141091
出願日: 1999年11月16日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】バルブヘッドのストロークを増大させることが可能な流量制御弁を得る。【解決手段】流量制御弁30Aは、圧電アクチュエータ52と、該圧電アクチュエータ52の変位量Laを増幅する変位量増幅機構54を備えている。変位量増幅機構54で増幅された増幅変位量Lbはバルブヘッド48に伝えられ、このバルブヘッド48によって、バルブボディ44中の流入路40と流出路42との間を通じさせる連通路46を通る流体の流量が調節される。変位量増幅機構54は、軸線Cに沿って変位する入力部80および出力部82と、回転変位する変位伝達部74を備えている。
請求項(抜粋):
流体の流路が形成されたバルブボディと、前記バルブボディに対して変位し、前記流路を流れる前記流体の流量を調節するバルブヘッドと、電流または電圧の供給に伴って、該電流または該電圧の値に応じた変位量だけ変位を生じる電気/変位変換手段と、前記電気/変位変換手段からの前記変位量を増幅して前記バルブヘッドに伝える変位量増幅手段と、を有することを特徴とする流量制御弁。
IPC (2件):
FI (2件):
F16K 31/02 A
, G05D 7/06 Z
Fターム (16件):
3H062AA02
, 3H062AA15
, 3H062BB33
, 3H062CC05
, 3H062DD01
, 3H062HH02
, 5H307AA20
, 5H307BB01
, 5H307DD11
, 5H307DD12
, 5H307EE02
, 5H307EE19
, 5H307EE36
, 5H307GG15
, 5H307GG20
, 5H307HH04
引用特許:
審査官引用 (10件)
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特開平2-163580
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特開昭63-199978
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特開昭63-026476
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マスフローコントローラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-287893
出願人:株式会社エステック
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レバー変位拡大機構付位置決め装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-166301
出願人:秩父小野田株式会社
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特開平4-218981
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特開平2-163580
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特開昭63-199978
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特開昭63-026476
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特開平4-218981
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