特許

J-GLOBAL ID：200903024048957740

真空チャック

発明者： 松尾 賢治 ,  伊藤 雅
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-092067
公開番号（公開出願番号）：特開2004-298970
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】真空チャックの吸着面に生じる段差を殆どなくしてその吸着面とワークとの密着度が高められた真空チャックを得る。【解決手段】真空チャック1は、吸引力が作用する表面10aを有する多孔質体10と、その多孔質体10を密に収容する収容溝7が形成された多孔質支持体5とを備えている。かかる真空チャック1において、多孔質体10と多孔質支持体5とを同一のフッ素樹脂により構成し、両者を溶着によって接合する。これにより、多孔質体10と多孔質支持体5とは多孔質か緻密質かの違いとなる。その結果、硬度やヤング率が極めて近似し、両者の表面5a,10aを平面研削しても生じる段差を極めて小さくすることができ、ワークと吸着面1aとの密着度を高めることができる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

吸着面を有した多孔質体と、該多孔質体の周囲を閉塞しその吸着面と面一のワーク接触面を有する閉塞部とを備え、真空源からの吸引力を多孔質体内部の微細孔を介して吸着面に作用させることで該吸着面にワークを吸着する真空チャックにおいて、 前記多孔質体及び前記閉塞部を同一の熱可塑性樹脂により構成し、両者を溶着によって接合したことを特徴とする真空チャック。

IPC (3件)：

B23Q3/08 ,  B24B41/06 ,  H01L21/68

FI (4件)：

B23Q3/08 A ,  B24B41/06 L ,  H01L21/68 B ,  H01L21/68 P

Fターム (18件)：

3C016DA05 ,  3C016DA11 ,  3C034AA07 ,  3C034BB73 ,  3C034DD10 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031MA24

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-303744
  
• 真空チャックの吸着板及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-288462   出願人：シーケーディ株式会社
• 加工用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-016898   出願人：セイコーエプソン株式会社