特許
J-GLOBAL ID:200903024132621383

スロット型シャドウマスクの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-122634
公開番号(公開出願番号):特開2002-319347
出願日: 2001年04月20日
公開日(公表日): 2002年10月31日
要約:
【要約】【課題】スロット孔と貫通ブリッジとを有するスロット型シャドウマスクの製造方法において、貫通ブリッジの幅を狭くしても矩形状となったスロット孔および線状の貫通ブリッジを得ることができる製造方法を提供する。【解決手段】小孔用開口部を有するレジスト膜と大孔用開口部を有するレジスト膜とを各々形成する工程と、エッチング工程と、剥膜工程とを有する、矩形状スロット孔と貫通ブリッジとを穿設したシャドウマスクを製造する方法において、スロット孔を形成する部位に対応したレジスト膜の開口部の形状を、スロット孔と貫通ブリッジとを連結させる部位を凹状に窪ませた略矩形状開口部とし、かつ、貫通ブリッジを形成する部位に対応したレジスト膜の開口部の形状を、略矩形状開口部と独立し、かつ、四隅に略矩形状開口部の長手方向と直交する凸状部を付加した略ダンベル状としたことを特徴とするシャドウマスクの製造方法。
請求項(抜粋):
金属薄板の一方の面側に小孔用開口部を少なくとも有するレジスト膜を、また、金属薄板の他方の面側に大孔用開口部を少なくとも有するレジスト膜を各々形成する工程と、前記レジスト膜の開口部より露出した金属薄板部位をエッチング液にて溶解除去するエッチング工程と、前記レジスト膜を剥膜する剥膜工程とを少なくとも有する、所定の配列とした複数の矩形状スロット孔と、列方向に並ぶ所定のスロット孔同士を連結する貫通ブリッジとを画像面部に形成したスロット型シャドウマスクを製造する方法において、前記スロット孔を形成する部位に対応したレジスト膜の開口部の形状を、スロット孔と貫通ブリッジとを連結させる部位を凹状に窪ませた略矩形状開口部とし、かつ、貫通ブリッジを形成する部位に対応したレジスト膜の貫通ブリッジ形成用開口部の形状を、前記略矩形状開口部と独立し、かつ、四隅に前記略矩形状開口部の長手方向と直交する方向に向かう凸状部を付加した略ダンベル状としたことを特徴とするスロット型シャドウマスクの製造方法。
Fターム (1件):
5C027HH07
引用特許:
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る