特許

J-GLOBAL ID：200903024136134339

配線パターン検査方法およびその装置

発明者： 三好 勝也
出願人/特許権者： オプトレックス株式会社 ,  広島オプト株式会社
代理人 (1件)： 大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-145298
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337454
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 透明電極などの見えにくい配線パターンであっても、非接触にて確実、かつ、短時間にその良否判別を行なう。【解決手段】 基板10上に形成されている配線パターン13に通電電極21,21により通電して、同配線パターン13より赤外線を発生させ、赤外線センサ23でその赤外線を撮像し、同撮像信号を画像処理して所定の基準画像データと対比することにより、配線パターン13の良否を検査する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されている配線パターンに通電して、同配線パターンより赤外線を発生させ、赤外線センサでその赤外線を撮像し、同撮像信号を画像処理して所定の基準画像データと対比することにより、上記配線パターンの良否を検査することを特徴とする配線パターン検査方法。

IPC (3件)：

G01M 19/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01M 19/00 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G01N 21/88 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-072552
  
• 特開平4-208845
  
• 赤外線センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-196424   出願人：富士通株式会社