電子源用のマイクロチップの製造方法及びこの方法により得られた電子源用マイクロチップ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098885
公開番号（公開出願番号）：特開平8-087959
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：

【要約】【目的】マイクロチップの陰極の特性及び大表面における一様性を向上させることができる電子源用のマイクロチップの製造方法及び前記方法を用いて得られる電子源用のマイクロチップを得ることを目的とする。【構成】本電子源の製造方法は、陰極導電体(8)のシステムと、中間絶縁体23の上に置かれたグリッド(10a)と、前記陰極導電体の上に堆積されたマイクロチップ(18)とを備え、前記グリッドが下面(I)と上面(S)との間に幾何学的に位置しており、前記マイクロチップが第1の清浄工程と、この後の表面エッチによる仕上げ又は改良工程とが施されることを特徴とする。なお、本願出願のマイクロチップは2つの部分からなる。

請求項（抜粋）：

陰極導電体のシステムと、中間の絶縁体とマイクロチップとの上に置かれたグリッドとを備え、前記グリッドは幾何学的に下面(I)と上面(S)との間に位置してなる電子源の製造方法又は製造物において、前記マイクロチップは第1の清浄工程及びこの後の表面エッチングによる仕上げ工程が実行されることを特徴とする電子源用のマイクロチップの製造方法又はこの方法により得られた電子源用マイクロチップ。

IPC (3件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30 , H01J 31/12

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-225721
特開平4-355027
電界放射型電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-172889 出願人：松下電工株式会社

全件表示

審査官引用 (6件)

電界放射型電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-172889 出願人：松下電工株式会社
特開平3-225721
特開平3-225721

全件表示

前のページに戻る