特許
J-GLOBAL ID：200903024193028030
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006324723
公開番号（公開出願番号）：WO2007-072706
出願日： 2006年12月12日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
カンチレバー振動の位相検出を高速化できる原子力間顕微鏡を提供する。カンチレバー(5)が励振され、カンチレバー(5)と試料が相対的に走査される。カンチレバー(5)の変位がセンサにより検出される。発振器(27)は、カンチレバー(5)の励振信号を生成すると共に、励振信号に応じた周波数を有しており位相が固定された基準波信号を生成する。トリガパルス生成回路(41)は、カンチレバーの変位に基づき、カンチレバー(5)の振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成する。位相信号生成回路(43)は、基準波信号とトリガパルス信号に基づき、パルス位置における基準波信号の大きさに応じた信号を、カンチレバー(5)の振動の位相信号として生成する。基準波信号としてはノコギリ波が使用される。位相信号生成回路(43)はサンプルホールド回路で構成される。
請求項（抜粋）：
カンチレバーを振動させて、前記カンチレバーと試料を相対的に走査する走査型プローブ顕微鏡であって、
前記カンチレバーを励振する励振手段と、
前記カンチレバーの変位を検出するセンサと、
前記カンチレバーの励振信号に応じた周波数を有しており前記励振信号との位相差が固定された基準波信号を生成する基準波生成手段と、
前記カンチレバーの変位に基づき、前記カンチレバーの振動の位相に応じてパルス位置が変化するトリガパルス信号を生成するトリガパルス生成手段と、
前記基準波信号と前記トリガパルス信号に基づき、前記パルス位置における前記基準波信号の大きさに応じた信号を前記カンチレバーの振動の位相信号として生成する位相信号生成手段と、
を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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