特許
J-GLOBAL ID:200903024208273134

圧電センサ装置及び記録装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-031555
公開番号(公開出願番号):特開2008-196926
出願日: 2007年02月13日
公開日(公表日): 2008年08月28日
要約:
【課題】圧電体膜を一対の電極で挟んだ構造の圧電センサの感度を長期間にわたって良好な状態に維持することができ、信頼性の高い測定が可能な圧電センサ装置、及びその圧電センサ装置を内蔵する記録装置を提供する。【解決手段】圧電センサ10と電源24との間にスイッチ23aを接続し、チャージアンプ22と電源24との間にスイッチ23bを接続する。これらのスイッチ23a,23bは、タイマ26によりオン-オフが制御される。圧電センサ10により応力を検出する際には、スイッチ23aがオフ、スイッチ23bがオンとなる。一定の時間が経過すると、タイマ10によりスイッチ23aがオン、スイッチ23bがオフとなって、圧電センサ10を構成する圧電体膜に抗電界以上の電界が印加する分極処理が実施される。この分極処理より、圧電センサ10の感度が回復する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
圧電体膜を一対の電極で挟んだ構造の圧電センサと、 一定の時間毎に前記圧電センサの前記圧電体膜に抗電界以上の電界を印加する電子回路と を有することを特徴とする圧電センサ装置。
IPC (6件):
G01L 1/16 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  G11B 5/592 ,  G11B 21/21
FI (6件):
G01L1/16 G ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 U ,  H01L41/18 101D ,  G11B5/592 ,  G11B21/21 M
Fターム (3件):
5D042FA05 ,  5D042GA03 ,  5D042KA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る