高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-113502
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】高純度液体状態の低温流体を生成する方法および装置を提供する。【解決手段】含有する不純物のうち、少なくとも1つの不純物が実質的に除去された、高純度の液体アルゴン、液体ヘリウムもしくは液体窒素のような、高純度液体状態の低温流体を生成する方法であって、精製すべき液体状態の低温流体を、前記不純物のうちの少なくとも1つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、前記低温流体を高純度液体の状態にて回収する方法において、吸着剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状態の精製された低温流体によって、引き続く精製サイクルNと精製サイクルN+1とを分離している停止段階時間の少なくとも一部の間中、維持することを特徴とする方法。

請求項（抜粋）：

含有する不純物のうち、少なくとも1つの不純物が実質的に除去された高純度液体状態の低温流体を生成する方法であって、精製すべき液体状態の前記低温流体を、前記不純物のうちの少なくとも1つの不純物を吸着する吸着剤と接触させ、前記低温流体を高純度液体の状態にて回収する方法において、吸着剤の少なくとも一部分の冷却を、液体状態の前記精製された低温流体によって、引き続く精製サイクルNと精製サイクルN+1とを分離している停止段階時間の少なくとも一部の間中、維持することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

B01D 15/00 , B01J 20/18

FI (2件)：

B01D 15/00 Z , B01J 20/18 D

引用特許：

審査官引用 (15件)

特開平3-059385
高純度液体窒素の製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-325828 出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
特開昭61-143681

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