薄膜形成用化学吸着物質及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大前要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190385
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021897
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】単分子層状の薄膜を形成することのできる化学吸着物質であって、可視光領域で透明かつ安定であり、紫外光領域で光化学反応を起こす感光性基を有する新規な化学吸着物質、及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の化学吸着物質は、少なくとも下記化学式(化1)で表される官能基と、シロキサン結合により結合された末端基としての-SiX基(但し、Xはハロゲンを表す。)とを有する。【化1】

請求項（抜粋）：

少なくとも下記化学式(化1)で表される官能基と、シロキサン結合により結合された末端基としての-SiX基(但し、Xはハロゲンを表す。)とを有することを特徴とする薄膜形成用化学吸着物質。【化1】

IPC (2件)：

G02F 1/1337 530 , C07F 7/04

FI (3件)：

G02F 1/1337 530 , C07F 7/04 G , C07F 7/04 M

Fターム (13件)：

2H090HB12Y , 2H090HC19 , 2H090HD11 , 4H049VN01 , 4H049VP01 , 4H049VQ12 , 4H049VQ21 , 4H049VR33 , 4H049VR41 , 4H049VS12 , 4H049VT40 , 4H049VU25 , 4H049VW02

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