特許

J-GLOBAL ID：200903024256542465

顕微鏡観察装置

発明者： 大出 孝博
出願人/特許権者： レーザーテック株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-205092
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035543
出願日： 1998年07月21日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【目的】 真の意味の共焦点光学系による高解像度を有し、種々の変動が補正された高品位の画像を得るとともに試料に照射する光と、画像形成用の光とを別個にできる顕微鏡観察装置を提供するものである。【構成】 レーザ光源11からのレーザビームを、ガルバノミラー31を2次元的に振動させる偏向装置14で偏向した後、対物レンズ16によって試料17上に照射する。試料からの反射光を再び偏向装置14に通して偏向を相殺した後、ピンホール20を介してフォトダイオード21で受光し、その出力信号を第1の信号処理回路22で処理した後、レーザダイオード23に供給する。レーザダイオードから出射されるレーザビームを偏向装置14で2次元的に偏向して所定の像平面26に試料像を形成する。この像を2次元CCD27によって撮像し、得られる画像信号を第2の信号処理回路28で処理してモニタ29で表示する。

請求項（抜粋）：

走査光を発生する第1の点光源手段と、この第1の点光源手段から放射される光を主走査方向に偏向する第1の偏向手段と、この第1の偏向手段から射出される光を試料の所望の部位に照射する対物レンズ系と、この試料を、前記主走査方向と直交する方向に移動させて副走査を行なう駆動手段と、前記試料からの反射光、透過光または蛍光を、その主走査方向の偏向を打ち消すように偏向する第2の偏向手段と、この第2の偏向手段から射出される光を受けるピンホールと、このピンホールを透過した光を光電変換する光電変換手段と、この光電変換手段から出力される信号を受けて光を放射する第2の点光源手段と、この第2の点光源手段からの光を主走査方向に偏向する第3の偏向手段と、この第3の偏向手段から射出される光を所定の像平面上に1次元画像として結像する光学系手段とを具え、前記第1の点光源手段、試料上の観察点およびピンホールを、これらが全て共役な結像関係となる共焦点光学系を構成するように配置したことを特徴とする顕微鏡観察装置。

IPC (3件)：

G02B 21/06 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/101

FI (3件)：

G02B 21/06 ,  H01S 3/00 A ,  H01S 3/101

Fターム (16件)：

2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25 ,  5F072HH02 ,  5F072KK05 ,  5F072KK09 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072YY20

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 共焦点走査型光学顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-260848   出願人：オリンパス光学工業株式会社