特許
J-GLOBAL ID：200903024261557179
コマ収差の測定用マスク及びコマ収差の測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-320153
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131185
出願日： 2000年10月20日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 コマ収差の測定用マスクの製造上の問題を解決するとともに、測定工数を低減し、かつ高精度のコマ収差を測定することが可能にする。【解決手段】 露光装置のコマ収差を測定するための測定用マスクであって、測定用パターンは、所要のピッチで配列される複数本のラインL1〜L5で構成されるライン部Lを有するL/Sパターンとして構成され、複数本のラインL1〜L5は両端のラインL1,L5の幅寸法が、中央側の他のラインL2〜L4の幅寸法以下の幅寸法に形成される。また、ライン部Lは中心位置が一致された基準ライン対B内に配置される。両端のラインL1,L5の幅寸法が異なる複数のL/Sパターンから得られたL/Sパターン像のライン部の配列方向の中心位置と、基準ライン対のパターン像の配列方向の中心位置との相対位置ずれ量を測定し、この相対位置ずれ量と、予め求められているライン幅寸法とコマ収差との相関特性からコマ収差を測定する。
請求項（抜粋）：
コマ収差を測定する対象である光学系を含む露光装置により測定用マスク上の測定用パターンの露光を行い、当該露光により得られたパターン像から当該光学系のコマ収差を測定するための測定用マスクであって、前記測定用パターンは、所要のピッチで配列される複数本のラインとスペースで構成されるライン部を有するL/Sパターンとして構成され、かつ前記複数本のラインは両端のラインの幅寸法が、中央側の他のラインの幅寸法以下とされ、かつ前記ライン部はその配列方向の中心位置が一致された基準ライン対内に配置されていることを特徴とするコマ収差の測定用マスク。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G03F 1/08
, H01L 21/027
G01M 11/02 B
, G03F 1/08 P
, G03F 1/08 D
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 516 A
2G086HH06
, 2H095BD11
, 2H095BE05
, 2H095BE06
, 2H095BE09
, 5F046AA25
, 5F046CB17
, 5F046DA13
, 5F046DB05
, 5F046EA03
, 5F046EA09
, 5F046EB02
