特許
J-GLOBAL ID：200903024268894405
電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-342713
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176367
出願日： 1997年12月12日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 電界放出型電子銃を備える電子顕微鏡による像観察時に、像の明るさを一定に保つ。【解決手段】 電界放出型電子銃の仮想光源の位置1bを一定に保つような第一引出電圧V1と第二引出電圧V2の組み合わせを予め求めて静電レンズ制御手段14に記憶しておく。電子顕微鏡像の明るさを変えるために第一引出電圧V1を変化させたとき、静電レンズ制御手段14は、それに対応して第二引出電圧V2も変化させる。
請求項（抜粋）：
電子源と、前記電子源から電子を引き出すための引出電極と、引き出した電子線を収束させる静電レンズ系と、引き出した電子線を加速する加速電極と、前記加速電極により加速された電子線を制限する絞りとを含む電子顕微鏡において、前記静電レンズ系のレンズ強さを前記引出電極の引出電圧に対応して予め記憶した強さに制御する制御手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/147
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
H01J 37/147 B
, H01J 37/22 502 E
, H01J 37/28 B
