特許

J-GLOBAL ID：200903024276908300

増大したポンピング容量を有するターボ分子ポンプ

発明者： レイマー, ピーター ,  スミス, デニス アール. ,  パテル, ジェイ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一 ,  鈴木 康仁
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-556508
公開番号（公開出願番号）：特表2004-521221
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：

一態様においては、真空処理チャンバと真空処理チャンバ上に配置されたターボ分子ポンプを含む真空処理システムが提供される。ターボ分子ポンプは、吸気口と排気口を持つケーシングと、ケーシングの内壁上に配置されたステータと、ステータ内に配置されたロータと、ロータと同軸に伸びているモータとを含み、ポンプの少なくとも第1ステージは拡張されているが、そのハウジングの対応する上部分以外のポンプコンポーネントは対応して大きくなっていない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(a)真空処理チャンバと、 (b)真空処理チャンバ上に配置されたターボ分子ポンプであって、 (i)吸気口と排気口を有するケーシングと、 (ii)半径方向に内向きに伸びている複数の列の固定翼を有するステータと、 (iii)ロータと同軸に配置されたモータと、 (iv)該ロータの外面から半径方向に外向きに伸びている複数の列の回転翼を有する該ロータであって、該回転翼の列は該固定翼の列と交互に配列されており、該吸気口に隣接した少なくとも1つの列の回転翼の該翼と少なくとも1つの列の固定翼の該翼がその他の列の回転翼と固定翼より長い、前記ロータと、 を含む、前記ターボ分子ポンプと、 を備える、真空処理システム。

IPC (1件)：

F04D19/04

FI (2件)：

F04D19/04 C ,  F04D19/04 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-067354   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開昭59-041699
  
• 特開昭59-041699