特許
J-GLOBAL ID：200903044876480800
ターボ分子ポンプ
出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所
株式会社荏原製作所 について
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-067354
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246197
出願日： 1997年03月05日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【課題】 高速で回転して運転しても、回転翼やそれを支持する箇所において局部的な応力や温度上昇が起こらず、結果として排気性能を向上させることができるターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 吸気口14aと排気口40aを有するポンプケーシング14内に、複数の回転翼30a,30bと固定翼32a,32bとが交互に配置され、該回転翼の回転によって排気を行なうターボ分子ポンプにおいて、前記回転翼の外径は排気側の回転翼30bが吸気側の回転翼30aよりも小さく設定されている。
請求項（抜粋）：
吸気口と排気口を有するポンプケーシング内に、複数の回転翼と固定翼とが交互に配置され、該回転翼の回転によって排気を行なうターボ分子ポンプにおいて、前記回転翼の外径は排気側の回転翼が吸気側の回転翼よりも小さく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
FI (2件)：
引用特許：
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