特許

J-GLOBAL ID：200903024309403683

基板搬送装置

発明者： 田寺 孝光 ,  垣脇 成光
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292114
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130251
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 真空中で複数の基板を同時に搬送でき、重量の大きな搬送にもかかわらず、故障率が低く、パーティクルの発生も少ない基板搬送装置を提供する。【解決手段】 電磁石4は、電流の印加により、永久磁石3との相互作用により、基板2を搭載した搬送車1が浮上しないだけの磁力を発生する。V車輪12a及びVレール13aにより、搬送車1の水平方向への移動を規制する。また、平車輪12b及び平レール13aは搬送車1の紙面垂直方向の回転を規制する。

請求項（抜粋）：

基板を搭載した搬送ローダを所定位置へと移動させる基板搬送装置において、前記搬送ローダに、前記基板を搭載した搬送ローダが浮上しないだけの浮力を与える浮力付与手段を具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 49/07 E ,  H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-032948
  
• 特開昭63-032948
  
• 集合処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-287474   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社