波面収差測定装置及び波面収差測定方法、並びに、露光装置及びデバイスの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-295036
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100613
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】露光装置への測定装置の装着が容易で、被検光学系の収差を迅速かつ高精度に測定可能な小型の波面収差測定装置及び方法、デバイス等を高精度にかつ生産性よく製造可能な露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】ウエハステージ上に交換可能に載置され、ウエハを保持するホルダとほぼ同一形状の受光筐体82内に波面収差測定装置81の受光部85を収容する。その受光部85を、入射する収差測定光MLを互いに異なる方向を指向する第1及び第2平行光PB1,PB2に分割する分割素子88、各平行光PB1,PB2をさらに多数のスポット光SLに分割する第1及び第2マイクロレンズアレイ90a,90b、その各スポット光SLの位置情報を検出する第1及び第2収差測定用撮像素子91a,91b等で構成する。各撮像素子91a,91bでの検出信号は、無線通信で受光筐体82外の波面収差算出部に供給する。

請求項（抜粋）：

被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記被検光学系を通過した収差測定光を少なくとも2つの第1の光に分割する第1光学系と、前記少なくとも2つの第1の光のそれぞれをさらに複数の第2の光に分割する第2光学系と、前記第2の光のそれぞれを受光する受光装置と、前記受光装置で受光した前記第2の光のそれぞれの位置情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出する収差算出装置とを有することを特徴とする波面収差測定装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01B 11/24 , G01M 11/02 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

G01M 11/02 B , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 A , G01B 11/24 A

Fターム (37件)：

2F065AA03 , 2F065AA07 , 2F065AA20 , 2F065AA53 , 2F065BB05 , 2F065BB22 , 2F065CC17 , 2F065CC22 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF55 , 2F065FF67 , 2F065GG03 , 2F065GG12 , 2F065GG14 , 2F065HH03 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065LL09 , 2F065LL10 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2G086HH06 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046DA13 , 5F046DB05 , 5F046FA10 , 5F046FB10 , 5F046FB12 , 5F046FB16 , 5F046FB17

引用特許：

出願人引用 (6件)

面形状計測用干渉計、波面収差測定機、前記干渉計及び前記波面収差測定機を用いた投影光学系の製造方法、及び前記干渉計の校正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-268582 出願人：株式会社ニコン
レンズ収差測定装置及びそれを用いたレンズ傾き調整装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-016773 出願人：松下電器産業株式会社
特開平2-227603

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