電子ビーム露光装置及びその露光方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-150990
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330870
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】偏向器作動させた際に縮小電子光学系を通過する複数の電子ビームで発生する偏向収差を、各電子ビーム毎に最適な補正をかけることが可能な電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】光源からの電子ビームから前記光源の中間像を形成する要素電子光学系を、前記縮小電子光学系の光軸に直交する面内に複数配列した要素電子光学系アレイと、各要素電子光学系の電子光学特性を個別に調整する第1の調整手段と、電子光学特性を調整する第2の調整手段と、前記要素電子光学系アレイからの複数の電子ビームを偏向することにより、前記縮小電子光学系を介して形成される前記複数の中間像の像を前記被露光面内において走査させる偏向手段と、前記要素電子光学系アレイからの複数の電子ビームを偏向する際、各電子ビームで発生する偏向収差を前記第1、第2の調整手段によって補正させる制御手段とを有する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを放射する光源と被露光面に該光源の像を縮小投影する縮小電子光学系とを有する電子ビーム露光装置において、前記光源からの電子ビームから前記光源の中間像を形成する要素電子光学系を、前記縮小電子光学系の光軸に直交する面内に複数配列した要素電子光学系アレイと、各要素電子光学系の電子光学特性を個別に調整する第1の調整手段と、前記縮小電子光学系の電子光学特性を調整する第2の調整手段と、前記要素電子光学系アレイからの複数の電子ビームを偏向することにより、前記縮小電子光学系を介して形成される前記複数の中間像の像を前記被露光面内において走査させる偏向手段と、前記要素電子光学系アレイからの複数の電子ビームを偏向する際、各電子ビームで発生する偏向収差を前記第1、第2の調整手段によって補正させる制御手段とを有することを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 541 B , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 541 W

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭61-263217
特開昭60-173834
特開昭59-184524

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