シート状基材の連続処理方法及びその装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283973
公開番号（公開出願番号）：特開平10-130851
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】大気圧近傍の圧力下におけるシート状基材の連続処理方法を提供する。【解決手段】気体の漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされたシート導入口及びシート排出口を備えた処理容器内に、一対の対向電極を配設し、前記対向電極の一方又は両方の対向面を固体誘電体で覆い、前記対向電極の間にシート状基材を連続的に走行させると同時に、前記シート状基材の走行方向と逆の方向から処理用ガスを連続的に接触させ、かつ、前記対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマを発生させる。

請求項（抜粋）：

気体の漏れを許容しうる程度の非気密状態にシールされたシート導入口及びシート排出口を備えた処理容器内に、一対の対向電極を配設し、前記対向電極の一方又は両方の対向面を固体誘電体で覆い、前記対向電極の間にシート状基材を連続的に走行させると同時に、前記シート状基材の走行方向と逆の方向から処理用ガスを連続的に接触させ、かつ、前記対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマを発生させることを特徴とするシート状基材の連続処理方法。

IPC (3件)：

C23C 16/56 , C08J 7/00 306 , H05H 1/46

FI (3件)：

C23C 16/56 , C08J 7/00 306 , H05H 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

シートの連続表面処理方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-003958 出願人：積水化学工業株式会社
特開平1-073620
特開平3-241739

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